我国电子工业部高纯水水质试行标准
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化学指标单位：μg/L
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序号
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水质项目
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一级高纯水指标
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二级高纯水指标
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1
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电阻率（25℃）MΩ·cm
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≥15
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≥10
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2
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电导率，μs/cm
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0.05
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0.1
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3
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PH值
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6.8～7.2
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6.6～7.4
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4
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细菌总数，个/mL
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＜3
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＜9
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5
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微粒（直径＞0.5μm，粒/mL）
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＜150
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＜300
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6
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二氧化硅
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＜10
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＜20
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7
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有机物（以COD计）
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＜0.3
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＜0.5
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8
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钠 Na
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＜0.5
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＜2
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9
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铁 Fe
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＜1
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＜2
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10
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铜 Cu
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＜0.5
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＜1
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11
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钙 Ca
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＜1
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＜3
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12
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镁 Mg
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＜0.2
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＜1
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13
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锌 Zn
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＜0.5
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＜1
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14
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锰 Mn
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＜0.2
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＜0.5
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说明：①一级高纯水适用于大规模集成电路，微波器件以及有相同要求到半导体器件产品。
②二级高纯水适用于一般电路，分立器件以及有相同要求的半导体器件产品。
③本表按1980年电子工业部标准摘录。 |
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